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無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕 度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間十萬級凈化車間施工公司稱之為潔凈室。潔凈室控管項目:
(1)能除去空氣中飄游之微塵粒子。
(2)能防止微塵粒子之產生。
(3)溫度和濕度之控制。
(4)壓力之調節。
(5)有害氣體之排除。
(6)結構物與隔間之氣密性。
(7)靜電之防制。
(8)電磁干擾預防。
(9)安全因素之考慮。
(10)節能之考量。